氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購(gòu)，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；
真空檢漏 向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮?dú)?，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個(gè)真空泵性能的問題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會(huì)大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來檢測(cè)其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會(huì)造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿足技術(shù)要求。
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